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探针台的选型

发布时间: 2016-10-18 来源:美亚先科技 浏览次数: 898次


探针台的选型需要根据具体应用需求和预算，应用方面需要确定以下的问题：
1、 最大需要测几英寸的晶圆或者器件？是否需要测试破片或者单颗芯片， 最小的单颗芯片尺寸？
2、 探针台机械精度要求多高？ 
3、 点测样品的电极尺寸？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路？ 
4、 最多需要几根探针同时去点测？ 
5、 是否会用到探针卡测试？ 
6、 光学显微镜的最小分辨率需要用到多少？ 
7、 显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？ 
8、 探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下？低电容的要求是否要做到0.1pf？是否有射频的需求？ 
9、 接驳的测试仪器接口有哪些？ 
10、测试环境时是否会需要加热或者降温？ 是否需要密闭腔体？
11、对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？ 
12、是否需要防震桌？ 
13、若添置防震桌，是否有压缩空气？

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