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振动量测量

产品名称: 无线加速度量测系统

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Vibration Sensing System

可实际量测Robot/Wafer/MASK动作或搬运时的振动
Robot已广泛运用在半导体厂房中,可做Wafer、MASK的搬运或传送,但Robot在使用一段时间后,会产生传动皮带的弹性疲乏、机械的磨耗与背隙,造成Robot在运作时会有异常的抖动,这在半导体制程中是要极力避免的,因此Robot何时该做维修保养? 维修后是否回复到原有的精度水平? 必须有一套方法可以有效的去量测或确认。巨克富所开发之Vibration Sensing System,具备Wafer、MASK或长方体外型,可量测Robot在传送Wafer或MASK时的振动,内建高精度三轴振动传感器,可高速完整记录整个过程的振动与角速度,纪录可透过WiFi实时传输或SD记忆卡储存资料,连续记录时间可长达4hrs。可应用于:无人搬运车、Wafer仓储系统,Robot维修检测。

 系统特色:                                                                                                    \
  1、无线量测技术,连续记录可达4hrs。                                                                           
  2、体积轻巧,可依照客户需求打造外型。
  3、内建三轴振动传感器,可量测加速或、倾角与角速度。
  4、量测软件可做频谱、角度、趋势分析。



号选单:
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型號 VSS-8 VSS-12 VSS-Mask VSS-Cub
尺寸規格 (mm) f203(8”)×6.7(T) f305(12”)×7.0(T) 152(W)×152(D)×6.5(H) 82(W)×77(D)×31(H)
重量 (g) 180 260 320 250
工作時間 (hr) 4hrs 4hrs 4hrs 4hrs*
*注: VSS-Cub可选购外接电源模块,搭配外接电源模块即可做长时间记录。

規格:
振动量测种类 加速度与角速度 量测模式 连续记录,触发记录
撷取速度 (S/s) 10、20、50、100、200、500、1000 资料储存 计算机(透过WiFi)、SD卡 
分析功能 YT曲线、频谱分析、统计图、角度分析、矢量和、振动位移、事件注记
量测范围 加速度 (g) ±2, ±4, ±8, ±16
角速度 (°/sec) ±250, ±500, ±1000,
±2000
滤波分析 Low pass、High pass、Band pass、Band stop
俯仰角 (°) ±80°
倾角 (°) ±80° 频谱分析 FFT、Power Spectrum、Power Spectrum density
分辨率 加速度 (bit) 16 (0.07mg@ range 2g)
角速度 (bit) 16 (0.008°/sec@ range 250°/sec) 统计图 Max、Min、RMS、Mean、P-P
无线通讯 WiFi FFT Average Vector、RMS、Peak hold、None
储存装置 (容量) SD Card (Max. 16G)* 资料重拨与分析 单步前进、单步后退、连续播放
电源需求 内建Battery 资料输出 CSV / Excel Format
工作时数 >4 小时 支援语系 英文
*注: 1000Hz速度纪录,1hr约45MB。


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           Real-Time waveform                                                                                                                              Angle

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                              FFT                                                                                                                                      Report-YT