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探针台台体

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探针台台体

产品名称: EB系列探针台台体

产品型号:EB-4/EB-6/EB-8/EB-12

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产品详细介绍 产品相关


总体规格特点:
   重量:60kg(含显微镜)。
   尺寸:580mm宽*460mm长*700mm高(含显微镜)。
   优化的人体工学设计,便于工程师长时间舒适操作。
 
显微镜操控规格:
   显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮,可调节显微镜在x-y方向的移动,移动范围2"X2",精度1μm。
   显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮,粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便精确调焦,使显微镜在Z轴方向行程50.8mm,移动精度10μm。
 
台面规格:
   探针台台面平整度:5μm。
   探针台台面为固定台面。
 
卡盘(载物台,即图中的chuck)规格:
   6" 卡盘,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,带真空吸附孔,中心孔径 250μm-1mm(可根据客户需求定制孔径大小),最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,最大能够吸住尺寸为6"X6"。
   卡盘可360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,带角度锁定旋钮。
   卡盘座有小摇杆,提起90度后,可以使卡盘快速线性上升4mm,在做wafer点测时方便快速移动点测位置,同时做普通die或者decap后芯片点测时,方便快速更换样品。
   卡盘X,Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动,移动范围为6"X6",移动精度为10μm,为方便点测的稳定性,带有锁住功能如果点测6"wafer的时候,可以保证6"wafer的每一点都能够点测到。
 
性能:
  • 真空吸附卡盘:对应可选4" ,6",8",12"产品
  • 卡盘X-Y方向精确线性移动行程:6"-6"
  • 线性无回差调节
  • 卡盘上/下移动行程:4mm
  • 4", 6", 8", 12" 晶圆 (晶圆尺寸)
  • 样品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"
  • 卡盘平整度: 10um
  • 卡盘旋转角度:0~360°
附件:
  • 显微镜倾仰装置
  • 镀金卡盘
  • 射频测试探头/电缆
  • 有源探头
  • 低电流/电容测试
  • 高压测试
  • 激光修复
  • CCD/数字相机,USB接口
  • 探针卡/封装/PCB板夹具
  • 加热装置
  • 防震桌
  • 屏蔽箱
  • 显微镜暗场/Normarski 检测
 

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