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手动探针台

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手动探针台

产品名称: BD系列高精度探针台

产品型号:BD-6

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总体规格特点:
●   重量:50kg(含显微镜)
●  尺寸:590mm宽*500mm长*700mm高(含显微镜)
●  优化的人体工学设计,便于工程师长时间舒适的操作

显微镜操控规格:
●   在探针台右侧有大摇杆,提起90度后,可以使显微镜快速倾仰抬起,方便在测试时更换物镜镜头
●   显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮,可调节显微镜在x-y方向的移动,移动范围2"X2",精度1μm
●   显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮,粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便精确调焦,使显微镜在Z轴方向行程50.8mm,移动精度1μm
 
台面规格:
●  探针台台面平整度:5μm
●  探针台左侧有摇杠可以控制台面快速上下升降6mm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的重选择
●  探针台右上方有转轮摇杆,摇动时可使台面线性上下升降,升降范围25mm,精度1μm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的复位
 
卡盘(载物台,即图中的chuck)规格:
●  6" 卡盘,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,带真空吸附孔,中心孔径250μm-1mm(可根据客户需求定制孔径大小),最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,最大能够吸住尺寸为6"X6"
●  卡盘可360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,带角度锁定旋钮
●  卡盘X,Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动,移动范围为6"X6",移动精度为1μm,为方便点测的稳定性,带有锁住功能。如果点测6"wafer的时候,可以保证6"wafer的每一点都能够点测到
性能:
● 镀金真空吸附卡盘: 对应可选4" ,6",8",12"产品
● 大旋钮移动卡盘台,X-Y方向行程:6"-6"
● 卡盘快速拉出装置便于放置/拿去样品
● 线性无回差调节
● 台面快速升/降行程:6mm,精调升/降行程:25mm
● 样品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"
● 卡盘平整度: 10um
● 卡盘旋转角度:0~360°
● Chuck Theta: ±15?
● 大旋钮滑台X-Y方向精度: 1um
● 台面上/下升降摇杆/旋钮
● 显微镜倾仰装置

附件:
● 显微镜倾仰装置
● 射频测试探头/电缆
● 有源探头
● 低电流/电容测试
● 高压测试
● 激光修复
● CCD/数字相机,USB接口
● 探针卡/封装/PCB板夹具
● 加热装置
● 防震桌
● 屏蔽箱
● 显微镜暗场/Normarski 检测
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