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MP-40显微薄膜测试仪

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MP-40显微薄膜测试仪

产品名称: 显微薄膜测厚仪

产品型号:MP 40

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大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶硅),半导体化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂层(碳化硅,类金刚石炭),聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)。
测量范围: 1 nm -800um
波长范围: 200 nm -1700 nm
光斑直径:200um-4um
适用于实时在线测量,多层测量,非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
测量指标:薄膜厚度,光学常数
界面友好强大: 一键式测量和分析。
实用的工具:曲线拟合和灵敏度分析,背景和变形校正,连接层和材料,多样品测量,动态测量和产线批量处理。
性能参数:

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测量100nm二氧化硅薄膜,40um光斑直径,波长范围:200-1000nm:
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测量100nm二氧化硅薄膜,40um光斑直径,波长范围:200-1000nm

MProbe 40(MSP) 系统标准参数
型号 波长范围(nm) 光谱仪/探测器 光源 厚度
Vis-MSP 400-1000 Spectrometer F4/Si CCD 3600 pixels/ ADC- 16 bit Tungsten-Halogen 10nm- 75µm
UVVisSR-MSP 200-1000 Spectrometer F4/Si CCD 2048 pixels/ ADC- 16 bit Deuterium/Tungsten-Halogen 1nm-75µm
HRVis-MSP 700-1100 Spectrometer F4/Si CCD 2048 pixels/ ADC- 14 bit /resolution Tungsten-Halogen 1µm-400µm
NIR-MSP 900-1700 F4 Spectrometer InGaAs CCD 512 pixels: ADC- 16 bit Tungsten-Halogen 50nm- 85µm
VisNIR-MSP 400-1700 Two spectrometer channels/ detectors (F4 Si 3600 pixels CCD and F4 InGaAs 512 pixels PDA) /ADC- 16 bit Tungsten-Halogen 10nm- 85µm
UVVisNIR-MSP 200-1700 Two spectrometer channels/ detectors (F4 Si 2048 pixels CCD and InGaAs 512)/ ADC – 16 bit Deuterium/Tungsten-Halogen 1nm-85µm
VisXT-MSP 800-870 F4 spectrometer/InGaAs 512 pixels PDA Tungsten-Halogen 10µm-1400µ

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